真空扩散泵油，通常指的是用于油扩散真空泵（简称油扩散泵）中的专用润滑油。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵，它依赖于油蒸气来携带和压缩气体分子，最终实现抽真空的效果。以下是对真空扩散泵油的详细介绍：

一、定义与用途

真空扩散泵油是油扩散泵中的关键工作介质，它不仅起到润滑作用，还是形成蒸汽射流的重要成分。这种油在泵腔内被加热至沸腾，产生大量油蒸气，这些蒸气通过喷嘴高速喷出，形成蒸汽射流，从而携带并压缩气体分子。

二、性能要求

真空扩散泵油需要满足一系列特定的性能要求，以确保油扩散泵的稳定运行和高效抽气。这些要求包括：

• 低饱和蒸汽压：以确保在泵的工作温度下，油蒸气的压力足够低，不会干扰抽气过程。
• 良好的热稳定性：在泵的长期运行过程中，油蒸气需要反复被加热和冷凝，因此要求真空扩散泵油具有良好的热稳定性。
• 良好的抗氧化性能：以防止油在加热过程中发生氧化反应，导致性能下降。

三、种类与品牌

真空扩散泵油的种类和品牌繁多，不同品牌和种类的油在性能上可能有所差异。一些知名的品牌如IOTA、信越（Shinetsu）、爱发科（Ulvac）等，都提供了高质量的真空扩散泵油产品。这些产品通常具有不同的粘度、折射率、相对密度和闪点等性能指标，以满足不同应用场景的需求。

四、应用与维护

真空扩散泵油广泛应用于高真空或超高真空环境的抽气过程中，如FPD制造设备、半导体制造设备、真空蒸馏、净化脱气等领域。在使用过程中，需要注意以下几点以维护泵的性能和延长使用寿命：

• 定期检查泵的性能：包括检查泵的抽气速率、密封性能和加热效率等。
• 更换符合要求的扩散泵油：根据使用说明书和泵的性能要求，选择适合的真空扩散泵油进行更换。
• 保持冷却水畅通：在泵加热前及工作过程中，必须保证冷却水畅通无阻，以防止泵过热和损坏。
• 避免泵内进入大气：在停止工作时，应保持泵内处于真空状态，以避免泵油氧化和性能下降。