安徽明怡硅业有限公司
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硅烷的制备历经了从实验室探索到工业化大规模生产的过程。早期，Moissen用硅化锂与酸反应得到SiH₄和少量Si₂H₆，Stock及其同事则先用镁还原SiO₂得到“硅化镁”，再将“硅化镁”与含水酸反应，得到多种硅烷。然而，这些方法产率较低，因为硅烷在含水酸中迅速水解。为提高产率，科学家们不断改进方法，如Johnson用溴化铵 - 液氨溶液作为酸制备硅烷，Kuratomi等用NH₄SCN在液氨介质中与Mg₂Si作用，获得产率高达81%的SiH₄。
现代工业化生产中，多采用歧化法。以冶金级硅与SiCl₄为原料，先用SiCl₄、Si和H₂反应生成SiHCl₃，然后SiHCl₃歧化反应生成SiH₂Cl₂，最后由SiH₂Cl₂催化歧化反应生成SiH₄。制得的硅烷经精馏提纯后，可用于生产高纯度硅等材料。此外，流化床法也是重要的制备工艺，美国联合碳化合物公司早年研发该技术，目前挪威可再生能源公司（REC）、德国瓦克公司（Wacker）等采用此方法生产颗粒状多晶硅。
