硅烷的制备工艺：从实验室到工业化的突破
硅烷的制备方法包括气相法、液相法及歧化反应法，其中工业应用最成熟的是硅合金分解法：
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硅合金分解法：Mg₂Si与NH₄Cl在液氨中反应生成硅烷，除硼效果好，生产相对安全，但原料消耗量大、成本高，目前仅日本Komatsu公司采用。
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SiCl₄氢化法：通过硅氯化合物氢化还原制取硅烷，适用于大规模生产。
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歧化反应法：利用氯硅烷（如SiHCl₃、SiH₂Cl₂）在催化剂作用下发生氯原子与氢原子的重新分配，生成硅烷。该方法通过低温精馏移走低沸点产物（如SiH₂Cl₂），打破反应平衡，提高硅烷产率。
技术进展：反歧化工艺可回收95%以上的SiH₂Cl₂，降低多晶硅生产成本，但需解决磷化合物杂质沉积问题。
