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硅烷的纯度要求因应用领域而异:
案例:在晶硅太阳能电池生产中,高纯度硅烷通过气相沉积形成非晶硅层,提高电池转换效率;在半导体制造中,硅烷用于沉积硅氧化物或硅氮化物薄膜,保护芯片免受污染。
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